在線煙氣分析儀也叫在線濕度儀，主要用于工業上煙氣濕度的監測和控制，并且廣泛應用于煙氣在線連續監測系統CEMS中脫硫設備、超低排放、VOC等場合濕度的測量，亦可用于木材、建材、造紙、化工、制藥、煙草、印染等場合的濕度控制。

在工業生產過程中，控制物料中的水分含量具有重要的作用。例如，在一些聚合反應過程中，若原料中含有一定的水分，就會大大降低聚合產品的性能。在乙烯裂解分離過程中，如果裂解氣中含有微量水分，在深冷分離工序就會造成設備凍裂停產的重大事故。在很多合，微量水分對催化劑具有毒性，若不除去就會使催化劑中毒失效，如聚乙烯、聚丙烯聚合反應中，要求進料含水量<1ppm,否則催化劑活性降低，會造成產品變色。某些氣體如氯化氫等，其中存在水分會產生很強的腐蝕作用。

在天然氣管道輸送中，如果含有水分，天然氣中的硫化氫會產生較強的腐蝕作用，對輸氣管道和設備造成產重損害。在石油煉制過程中，物料的水分含量也是個重要的因素，將會直接影響產品質量和設備的安全運轉。其他如電力行業對SF6氣體、冶金行業對保護氣體、制氣行業對高純氣體、半導體制造業對環境氣體中微量水分的含量均有嚴格的要求。因此煙氣水分儀用于微量水分的測量及控制對許多生產過程是必不可少的。