VOC檢測儀PID傳感器一共有以下組成部分

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　　真空紫外燈及驅動電路

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　　紫外燈內部沖有惰性氣體、氫或者其同位素等

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　　紫外燈窗口有

　　MgF2

　　、

　　CaF2

　　、

　　Al2O3

　　等晶體組成

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　　離子檢測器

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　　檢測器含有可供樣品氣體進出的電離室

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　　電離室內部有偏置電極和離子收集電子

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　　檢測電路

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　　微弱信號采集、放大、濾波等